スウォン市, 南韓国
1997年 AMAT、P5000、PECVD(3チャンバー)
- メーカー: Amat
- 型番: P5000
シリアルno.: 4420 | 数量: 1 | 設備詳細: PECVD(3チャンバー) | 装置: PECVD | 記述: 3チャンバー(ガスO2、CF4、SiH4、GeH4、N20、N2)
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2010年 ASM、AD830、ダイボンダー
- メーカー: ASM
- 型番: AD830
シリアルno.: AD830-04312-2799 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: ダイサイズ150X150~1500X1500um、ウェハ6"~8"
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2014渋谷、DB250、フリップチップボンダー
- メーカー: Shibuya
シリアルno.: CAL1152 | 数量: 1 | 設備詳細: フリップチップボンダ | 装置: フリップチップボンダ | 記述: 240x100mm、ウェハ12インチ
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新川、SPA-300、ICダイボンダー
- メーカー: Shinkawa
- 型番: SPA-300
シリアルno.: C4-55152 | 数量: 1 | 設備詳細: ICダイボンダー | 装置: ICダイボンダー | 記述: N/A
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2015 EVG, EVG510, ウェハー・ボンダー
- メーカー: EVG
- 型番: 510
シリアルno.: S170132 | 数量: 1 | 設備詳細: ウェハー・ボンダー | 装置: ウェハー・ボンダー | 記述: N/A
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2010年 ミダスシステム、MDA-400M、マニュアルマスクアライナー
- メーカー: Masque
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 手動マスクアライナー | 装置: 手動マスクアライナー | 記述: 4インチまでのサブステアサイズ
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2014 ニコン, NES1V-h04, ミニステッパー
- メーカー: Nikon
- 型番: NES1-h04
シリアルno.: 1400101 | 数量: 1 | 設備詳細: ミニステッパー | 装置: ミニステッパー
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2009年 プライムラミ、P-720、ロールラミネーター
- メーカー: PRIME LAMI
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ロールラミネーター | 装置: ロールラミネーター | 記述: ラミ厚2.5mm、速度4m/min
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MKS、P99A-28229、圧力コントローラ
- メーカー: MKS
シリアルno.: 10XX09 | 数量: 1 | 設備詳細: 圧力コントローラー | 装置: 圧力コントローラー | 記述: ガスN2、レンジ1000SCCM、1000Torr
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2003年 NIKON、OPTIPHOT-300D、検査顕微鏡
- メーカー: Nikon
- 型番: Optiphot 300
シリアルno.: 625331 | 数量: 1 | 設備詳細: 検査顕微鏡 | 装置: 検査顕微鏡 | 記述: 14x10ステージ、ウェハ12インチ、100~120V、3A、50/60Hz
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2006年 アシムテック、X-1020、ディスペンサー
- メーカー: Nordson Asymtek
- 型番: X-1020
シリアルno.: X12256 | 数量: 1 | 設備詳細: ディスペンサー | 記述: エンコーダ分解能 5マイクロメートル
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PROTEC、ファンタズム-MS、ディスペンサー
- メーカー: Protec
- 型番: Phantasm
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ディスペンサー | 装置: ディスペンサー | 記述: N/A
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2012 KOH YOUNG, KY-7100, 三次元自動光学検査機
- メーカー: Koh Young
- 型番: KY7100
シリアルno.: AOI-S001 | 数量: 1 | 設備詳細: 3D自動光学検査機 | 装置: 3D自動光学検査機 | 記述: 208VAC、1相、50/60Hz
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