セントロテム、E1550、水平炉（LPCVD）
- メーカー: Centrotherm
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 水平炉 | 装置: 水平炉 (LPCVD) | 記述: ウェハ4、6、8インチ | ウエハサイズ: 4インチ、6インチ、8インチ、125Sq、156Sq | 能力: 70枚/バッチ
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2005 Kulicke&Soffa、4524、マニュアル・ワイヤーボンダ#1
- メーカー: Kulicke & Soffa
- 型番: 4524
シリアルno.: 700509 | 数量: 1 | 設備詳細: マニュアルワイヤーボンダー | 装置: マニュアルワイヤーボンダー
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K&S、マクサムプラス、ワイヤーボンダー
- メーカー: Kulicke & Soffa
- 型番: MAXUM PLUS
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ワイヤーボンダー | 装置: ワイヤーボンダー
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1997年 AMAT、P5000、PECVD（3チャンバー）
- メーカー: Amat
- 型番: P5000
シリアルno.: 4420 | 数量: 1 | 設備詳細: PECVD（3チャンバー） | 装置: PECVD | 記述: 3チャンバー（ガスO2、CF4、SiH4、GeH4、N20、N2）
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2010年 ASM、AD830、ダイボンダー
- メーカー: ASM
- 型番: AD830
シリアルno.: AD830-04312-2799 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: ダイサイズ150X150~1500X1500um、ウェハ6"~8"
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2014渋谷、DB250、フリップチップボンダー
- メーカー: Shibuya
シリアルno.: CAL1152 | 数量: 1 | 設備詳細: フリップチップボンダ | 装置: フリップチップボンダ | 記述: 240x100mm、ウェハ12インチ
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新川、SPA-300、ICダイボンダー
- メーカー: Shinkawa
- 型番: SPA-300
シリアルno.: C4-55152 | 数量: 1 | 設備詳細: ICダイボンダー | 装置: ICダイボンダー | 記述: N/A
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2015 EVG, EVG510, ウェハー・ボンダー
- メーカー: EVG
- 型番: 510
シリアルno.: S170132 | 数量: 1 | 設備詳細: ウェハー・ボンダー | 装置: ウェハー・ボンダー | 記述: N/A
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2010年 ミダスシステム、MDA-400M、マニュアルマスクアライナー
- メーカー: Midas System
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 手動マスクアライナー | 装置: 手動マスクアライナー | 記述: 4インチまでのサブステアサイズ
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2014 ニコン, NES1V-h04, ミニステッパー
- メーカー: Nikon
- 型番: NES1-h04
シリアルno.: 1400101 | 数量: 1 | 設備詳細: ミニステッパー | 装置: ミニステッパー
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2010年 AIT、AVIS-5000N、LEDウェハ欠陥検査装置
- メーカー: AIT
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: LEDウェハ検査装置 | 装置: LEDウェハ検査装置 | 記述: ウェハ2～6インチ
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2017 Hankwang、HEU-1005、レーザーマーキングシステム
- メーカー: Hankwang
シリアルno.: C10SLCE02111 | 数量: 1 | 設備詳細: レーザマーキングシステム | 装置: レーザマーキングシステム | 記述: 220V、50/60Hz、6A
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2012年 ミダスシステム、MDA-400S、マスクアライナー
- メーカー: Midas System
シリアルno.: 12001 | 数量: 1 | 設備詳細: マスクアライナー | 装置: マスクアライナー | 記述: N/A
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