
アルバック、エンバイロ2、マイクロ波アッシャー
- メーカー: Ulvac
- 型番: Enviro
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 電子レンジ | 装置: 電子レンジ | 記述: ウェハ 100~300mm
スウォン市, 南韓国
2012 プラズマサーム、バーサリン、ICP-RIEエッチャー
- メーカー: Plasma-Therm
- 型番: VERSALINE
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ICP-RIEエッチャー | 装置: ICP-RIEエッチャー | 記述: ウエハ 200mm(最大)
スウォン市, 南韓国
2013年 オックスフォード、プラズマラボ100-ICP380、ICPエッチャー
- メーカー: Oxford
シリアルno.: 94-515033 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
2013年 オックスフォード、プラズマラボICP380-PLASMALAB100、ICPエッチャー+PECVD
- メーカー: Oxford
シリアルno.: 94-515033 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー+PECVD | 装置: ICPエッチャー+PECVD | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
2010年トップENG、LX-380、ICPエッチャー
- メーカー: Top Eng
シリアルno.: MC-1005-303 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
TEL、TE-8500P、エッチャー
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: K85023 | 数量: 1 | 設備詳細: エッチャー | 装置: エッチャー | 記述: ウエハー6インチ
スウォン市, 南韓国
大韓民国
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