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HGTECHウエハ欠陥検出シリーズ 半導体ウエハ欠陥検出装置

• メーカー: Hgtech

アイテム: 主なパラメータ | 一般パラメーター: ウエハーサイズ；4"、6"（鉄フレーム、ブルーフィルム付） | 箱数: 2個 | 荷役方法: ロボット、マッピングスキャン | モーション・プラットフォーム: Xストローク 200mm、繰り返し精度 10μm Yストローク 45mm、繰り返し精度 10μm Zストローク15mm、繰り返し精度5μm | 容量: 4インチ、毎時25振動 6インチ、毎時20振動 | 検出性能...