新品 HGTECH LUA3200 全自動ウェハーレーザーアニール装置 場所 武漢市, 湖北省, 中国

HGTECH LUA3200 超高効率全自動ウェハーレーザーアニール装置：EFEMシステムはウェハーを事前に位置決めし、カスタマイズされたレーザーアニールヘッドと精密なモーションプラットフォームが連携して、SiCウェハーの裏面金属（Ni層またはT層）全体をアニールし、良好なオーミックコンタクト、接触抵抗の低減、デバイス性能の向上を保証します。製品の利点
HGTECH LUA3200超高効率全自動ウェハーレーザーアニール装置：EFEMシステムがウェハーをプレポジショニングし、カスタマイズされたレーザーアニールヘッドと精密モーションプラットフォームが一体となって、SiCウェハーの裏面金属（NiまたはT層）全体をアニールし、良好なオーミック接触、接触抵抗の低減、デバイス性能の向上を実現します。