新品 HGTECH LUA3200 全自動ウェハーレーザーアニール装置 場所 武漢市, 湖北省, 中国

HGTECH LUA3200 超高効率の全自動ウェハー用レーザーアニール機：EFEMシステムがウェハーを事前配置し、カスタマイズされたレーザーアニールヘッドと高精度運動プラットフォームが連携してSiCウェハの裏面金属（NiまたはT層）全体をアニールし、良好なオーム接触、低接触抵抗、デバイス性能の向上を実現します。製品の利点

HGTECH LUA3200 超高効率の全自動ウェハー用レーザーアニール機：EFEMシステムがウェハーを事前配置し、カスタマイズされたレーザーアニールヘッドと高精度運動プラットフォームが連携してSiCウェハの裏面金属（NiまたはT層）全体をアニールし、良好なオーム接触、低接触抵抗、デバイス性能の向上を実現します。