新品 HGTECH LUA3200 全自動ウェハーレーザーアニール装置 場所 武漢市, 湖北省, 中国
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仕様
- 状態
- 新品
- カテゴリー
- 溶接装置 場所 中国
- サブカテゴリ―
- 専門製品
- サブカテゴリ― 2
- 半導体産業向け特殊製品
- サブカテゴリ― 3
- クリーンエネルギー用精密レーザー切断・溶接システム
- リスティングID
- 100209728
説明
HGTECH LUA3200 超高効率全自動ウェハーレーザーアニール装置：EFEMシステムはウェハーを事前に位置決めし、カスタマイズされたレーザーアニールヘッドと精密なモーションプラットフォームが連携して、SiCウェハーの裏面金属（Ni層またはT層）全体をアニールし、良好なオーミックコンタクト、接触抵抗の低減、デバイス性能の向上を保証します。製品の利点
HGTECH LUA3200超高効率全自動ウェハーレーザーアニール装置：EFEMシステムがウェハーをプレポジショニングし、カスタマイズされたレーザーアニールヘッドと精密モーションプラットフォームが一体となって、SiCウェハーの裏面金属（NiまたはT層）全体をアニールし、良好なオーミック接触、接触抵抗の低減、デバイス性能の向上を実現します。