中古 【中古品】日本マイクロニクス マニュアルプローバー MP-10 場所 福岡市, 福岡県, 日本
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仕様
- 状態
- 中古
- 在庫番号
- 10723
- チャックサイズ
- 8インチ（φ200mm）
- チャックステージ
- エアーベアリング機構
- ステージ移動量
- 約X220mm、Y270mm
- サブステージ移動量
- 約X10mm、Y10mm
- ウェハ保持方式
- 真空吸着方式
- Ｚ移動量
- 0~0.3～3.5mm（3段階）、＋約37mm
- Θ調整
- 約±25°（チャックの配線、配管により変動）
- 外 寸
- 約W560×D770×H620mm (顕微鏡含む)
- 重 量
- MP-10 本体 約80㎏〇ユーティリティー 電 源
- 〇付属顕微鏡
- FS（ミツトヨ製）
- 接眼レンズ
- WF 10X / 24
- 対物レンズ
- M Plan APO5、10、SL20、SL50照明用ファイバーケーブル（照明装置未付属）
- カテゴリー
- 半導体製造装置
- サブカテゴリ―
- テスティング装置
- サブカテゴリ― 2
- 品管 品証 関連
- リスティングID
- 69702991
説明
【機器ステータス】取扱説明書なし（MP-10A取扱説明書は付属あり）
取扱説明書、顕微鏡用照明、小型真空ポンプ、コンプレッサーなど未付属です。
別途費用にて小型真空ポンプ、顕微鏡用照明、除振台、シールドボックス、マニュピレータなどは 付属可能です。ご相談下さい。