新品 HGTECHウエハ厚さ測定シリーズ 半導体ウエハ厚さ測定装置 場所 武漢市, 湖北省, 中国
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仕様
- 状態
- 新品
- アイテム
- 主なパラメータ
- 一般パラメーター
- ウェハー・サイズ;4インチ、6インチ
- 箱数
- ダブルデッキ、14個
- 荷役方法
- ロボット、マッピングスキャン
- モーション・プラットフォーム
- Xストローク150mm 繰り返し精度±0. 繰り返し精度 ±0.
- 容量
- 4インチ、240W/時 6インチ、220W/時
- 検出性能
- 検出機能;ウェーハ(コートウェーハ)厚さ、TTV、反り
- 厚さ試験精度
- ±0.5 μ m. 繰り返し精度:0.1 μ M(25個連続テスト、各5ポイント)
- 厚みの範囲
- ± 1 mm
- Ttvテストの精度
- ±0.5μm、繰り返し精度:0.2μm
- 反り試験精度
- ± 2 μ m. テスト範囲:± 600 μ m. 繰り返し精度:1 μ m
- 環境要件
- 電源仕様;AC220V,50Hz
- 空気源要件
- 0.5~0.7mpaの圧縮空気、明らかな水蒸気およびグリースなし
- 環境利用
- 温度:15-40 ℃.湿度条件30% - 70% の霜無し
- 全長
- 1800mm*1300mm*2250mm
- カテゴリー
- 溶接装置 場所 中国
- サブカテゴリ―
- 専門製品
- サブカテゴリ― 2
- 半導体産業向け特殊製品
- サブカテゴリ― 3
- クリーンエネルギー用精密レーザー切断・溶接システム
- リスティングID
- 73915116
説明
製品の利点様々な材質、研磨条件の4-8インチウェーハ、基板、エピタキシャルウェーハに使用可能:0~1mm測定精度:±1μM繰り返し精度:0.2μm測定時間:30s/PCS(お客様の検出軌跡によります:30秒/PCS(お客様の検出軌跡による) サンプル表示:サンプル1 サンプル2 サンプル3
製品の特長:製品の特長:製品の特長 様々な材質、研磨条件の4~8インチ原反、基板、エピタキシャルウエハーに対応様々な材質、研磨条件の4~8インチ原反、基板、エピタキシャルウエハーに対応様々な材質、研磨条件の4~8インチ原反、基板、エピタキシャルウエハーに対応高い測定精度:0~1mm測定精度:±1μM繰り返し精度:0.2μm厚み範囲:0~1mm測定精度:±1μM繰り返し精度:0.2μm0~1mm測定精度:±1μM繰り返し精度:0.