新品 HGTECHウエハ厚さ測定シリーズ 半導体ウエハ厚さ測定装置 場所 武漢市, 湖北省, 中国
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仕様
- 状態
- 新品
- アイテム
- 主なパラメータ
- 一般パラメーター
- ウェハー・サイズ；4インチ、6インチ
- 箱数
- ダブルデッキ、14個
- 荷役方法
- ロボット、マッピングスキャン
- モーション・プラットフォーム
- Xストローク150mm、 Yストローク150mm、; 繰返し精度 ±0.1 μm 繰返し精度 ±0.1 μm
- 容量
- 4インチ、240W/時 6インチ、220W/時
- 検出性能
- 検出機能；ウェーハ（コートウェーハ）厚さ、TTV、反り
- 厚さ試験精度
- ±0.5 μ m. 繰り返し精度：0.1 μ M（25個連続テスト、各5ポイント）
- 厚みの範囲
- ± 1 mm
- Ttvテストの精度
- ±0.5μm、繰り返し精度：0.2μm
- 反り試験精度
- ± 2 μ m. テスト範囲：± 600 μ m. 繰り返し精度：1 μ m
- 環境要件
- 電源仕様；AC220V,50Hz
- 空気源要件
- 0.5～0.7mpaの圧縮空気、明らかな水蒸気およびグリースなし
- 環境利用
- 温度: 15-40 ℃。湿度要求: 30% - 70%、霜なし
- 全長
- 1800mm*1300mm*2250mm
- カテゴリー
- 計測・検査（半導体） 場所 中国
- サブカテゴリ―
- 専門製品
- サブカテゴリ― 2
- 半導体産業向け特殊製品
- リスティングID
- 73915116
説明
製品の利点: 4-8インチの元のウェハ、基板および各材料と研磨条件のエピタキシャルウェハに使用 計測範囲: 0-1mm 測定精度: ±1 μm 繰返し精度: 0.2 μm 測定時間: 30秒/PCS（お客様の検出軌跡に従う） サンプル表示: サンプル1 サンプル2 サンプル3
製品の利点:製品の利点:製品の利点: 4-8インチの元のウェハ、基板および各材料と研磨条件のエピタキシャルウェハに使用 4-8インチの元のウェハ、基板および各材料と研磨条件のエピタキシャルウェハに使用 4-8インチの元のウェハ、基板および各材料と研磨条件のエピタキシャルウェハに使用 高い測定精度 厚さ範囲: 0-1mm 測定精度: ±1 μm 繰返し精度: 0.2 μm 厚さ範囲: 0-1mm 測定精度: ±1 μm 繰返し精度: 0.