新品 HGTECH ウェーハスロットシリーズ ウェーハレーザースロット装置 場所 武漢市, 湖北省, 中国
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仕様
- 状態
- 新品
- アイテム
- 主なパラメータ
- レーザー
- 中心波長：～532nm
- カットヘッド
- 空間光整形モジュール
- パフォーマンス
- 有効ストローク；300x400mm（オプション）
- 繰り返し位置決め精度
- ±1μm
- ビジュアル・ポジショニング
- 自動視覚ポジショニング
- スロット深さ
- ≥10μm以上
- 他
- ウェーハサイズ；8インチ（12インチ対応可能）
- 加工プロセス
- 保護液塗布 - ウェハー溝加工 - 洗浄
- 処理対象
- 低 - Kウエハー、シリコンベースのガンなど
- カテゴリー
- 溶接装置 場所 中国
- サブカテゴリ―
- 専門製品
- サブカテゴリ― 2
- 半導体産業向け特殊製品
- サブカテゴリ― 3
- クリーンエネルギー用精密レーザー切断・溶接システム
- リスティングID
- 73915123
説明
製品の利点超短パルス加工を採用し、エッジ崩壊、層間剥離、熱衝撃を低減、高精度目視位置決めを採用し、スロット位置を確保 空間光変調技術に基づき、整形スポットのサイズと形状を調整可能、レーザーエネルギー利用率が高く、応答が速い 保護液コーティング、ウェーハスロット加工、洗浄モジュールを統合 サンプル表示：低誘電率ウェハースロット、深さ10μm以上、幅40μm。