中古 CANON/NIKON FPA3000シリーズ/NSR-i6～i14、SFシリーズ 場所 東京都, 日本
中古
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仕様
説明
i
線ステッパーである
FPA3000
シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、
化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、
その分野でも広く支持されています。
弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・
CDSEM
を備えたデモ環境を整えております。
装置改造
中古装置リファービッシュ販売
ウェハサイズ変
更
レチクルサイズ変更
レチクルチェンジャータイプ変更
チャンバー冷媒改造
部品販売
部品修理
基盤類修理
定期メンテナンス
移設
業務
構内移設
工場移設
トラブル対応
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0.35μm
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