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SECS/GEMS化ユニット
メーカー:
EINNOSYS
工程: その他
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DAGE DAGE-4000
メーカー:
Nordson DAGE
工程: 組立
東京都, 日本
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HITACHI S8000、S9000シリーズ
メーカー:
Hitachi
工程: 検査
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CVD装置 Concept-150/200
メーカー:
Lam Research - Novellus
工程: 成膜
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熱電対(TC)付ウェハー
メーカー:
PREMTEK
工程: 拡散
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リアルタイムポンプ監視システム
メーカー:
EINNOSYS
工程: その他
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PREMTEK RTP-1200Aシリーズ
メーカー:
Premtek
工程: 成膜
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KEYSIGHT 4070シリーズ
メーカー:
Agilent - Keysight
工程: 検査
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CANON MPA500、600シリーズ/PLA500、600シリーズ
メーカー:
Canon
工程: フォトリソ
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CANON/NIKON FPA3000シリーズ/NSR-i6~i14、SFシリーズ
メーカー:
Canon
型番:
FPA3000
工程: フォトリソ
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2023 AW MECHATRONICS JLS-500L-PS/SP-J523
メーカー:
AW MECHATRONICS
工程: その他 | 備考欄: 2台(50,000L/h)
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TEKTRONIX 370B
メーカー:
Tektronix
型番:
370B
工程: 組立
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TEKTRONIX 370A
メーカー:
Tektronix
型番:
370A
工程: 組立
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2019 OKUHARA MR-250
メーカー:
OKUHARA
工程: 組立 | 備考欄: メーカーサポートあり
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NOMURA MICRO SCIENCE N4C-3.0-120
メーカー:
Nomura Micro Science
工程: 組立
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