中古 PREMTEK RTP-1200Aシリーズ 場所 東京都, 日本
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仕様
説明
Premtek
社の
RTP
装置は世界で500台以上の納入実績があり、その多くが化合物プロセスで使用されています。
サセプタを使用してのチャンバー内のプロセスを実施するため
SiC/Silicon/Sapphire/GaAs/InP
など多くの化合物ウエハの処理が可能で
す。
また、化合物ウエハの反りが原因での温度測定不良を防ぐために、サセプタ上に
TP
を配置しています。
上面ランプ、下面ランプ、サイドランプを複数のゾーンに分配し、各々のゾーンを個別に
PID
コントロールすることにより高い面内均
一
性
を
実現しています。
高性能多軸ロボットを搭載することにより位置決め、チャンバー、クーリング・ユニット間をスムーズに反動することが可能です。
装置内はクラス
100
で保たれており、オープンカセットの他に
SMIF
カセットの使用が可能です。
Windows
ベースのソフトウエアは使いやすく、多くのプロセスレシピの登録や変更が容易で、ランタイム時のプロセスの状況を簡単に
把握することが可能です。
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