2012ディスコ、DFL7160、レーザースクライバー
- メーカー: Disco
- 型番: DFL7160
シリアルno.: KA1333 | 数量: 1 | 設備詳細: レーザースクライバー | 装置: レーザースクライバー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
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1997年 AMAT、P5000、PECVD（3チャンバー）
- メーカー: Amat
- 型番: P5000
シリアルno.: 4420 | 数量: 1 | 設備詳細: PECVD（3チャンバー） | 装置: PECVD | 記述: 3チャンバー（ガスO2、CF4、SiH4、GeH4、N20、N2）
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2010年 ASM、AD830、ダイボンダー
- メーカー: ASM
- 型番: AD830
シリアルno.: 広告830-04312-2799 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: ダイサイズ150X150~1500X1500um、ウェハ6"~8"
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2014渋谷、DB250、フリップチップボンダー
- メーカー: Shibuya
シリアルno.: CAL1152 | 数量: 1 | 設備詳細: フリップチップボンダ | 装置: フリップチップボンダ | 記述: 240x100mm、ウェハ12インチ
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新川、SPA-300、ICダイボンダー
- メーカー: Shinkawa
- 型番: SPA-300
シリアルno.: C4-55152 | 数量: 1 | 設備詳細: ICダイボンダー | 装置: ICダイボンダー | 記述: N/A
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2015 EVG, EVG510, ウェハー・ボンダー
- メーカー: EVG
- 型番: 510
シリアルno.: S170132 | 数量: 1 | 設備詳細: ウェハー・ボンダー | 装置: ウェハー・ボンダー | 記述: N/A
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2014 ニコン, NES1V-h04, ミニステッパー
- メーカー: Nikon
- 型番: NES1-h04
シリアルno.: 1400101 | 数量: 1 | 設備詳細: ミニステッパー | 装置: ミニステッパー
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1999年 プラズマ、SD2002、エリプソメーター
- メーカー: Plasmos
シリアルno.: 5094.06.94 | 数量: 1 | 設備詳細: ELLIPSOMETER | 装置: ELLIPSOMETER | 記述: ウェハ 300mm | ビデオモニター: 9M200A | 電気物理学: AF-750 顕微鏡オートフォーカスシステム
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新川、SPA-300、ICダイボンダー
- メーカー: Shinkawa
- 型番: SPA-300
シリアルno.: C4-57918 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ICダイボンダー | 記述: N/A
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セントロテム、E1550、水平炉（LPCVD）
- メーカー: Centrotherm
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 水平炉 | 装置: 水平炉 (LPCVD) | 記述: ウェハ4、6、8インチ | ウエハサイズ: 4インチ、6インチ、8インチ、125Sq、156Sq | 能力: 70枚/バッチ
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アルバック、エンバイロ2、マイクロ波アッシャー
- メーカー: Ulvac
- 型番: Enviro
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 電子レンジ | 装置: 電子レンジ | 記述: ウェハ 100~300mm
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ASM、AD830、ダイボンダー
- メーカー: ASM
- 型番: AD830
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: ダイサイズ150x150~1500x1500um、ウェハ6"~8"
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2016 Bright Lux Automation 佑光, DB8080WF, ダイボンダー
- メーカー: Bright Lux Automation 佑光
シリアルno.: DB8080-12-002 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: Windows XP、ウエハ3.5x3.5mil～100x100mil
スウォン市, 南韓国
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