工程: フォトリソ | インチ: 6
工程: 成膜
工程: 組立
工程: 組立 | インチ: 8
工程: ATE
工程: ATE | インチ: 8 | 備考欄: マニュアル、シールドボックス低高温
工程: 検査 | インチ: ~12
工程: 洗浄 | インチ: 6 | 備考欄: HF
インチ: 6
工程: フォトリソ | インチ: 6、8
工程: フォトリソ | インチ: 5
工程: フォトリソ | インチ: 5、6