工程: 成膜 | インチ: 8 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ | インチ: 6 | 備考欄: 2C2D
工程: フォトリソ | インチ: 3,4
工程: フォトリソ
工程: フォトリソ | インチ: 6
工程: 成膜