工程: エッチャー | インチ: 6
工程: フォトリソ | インチ: 8 | 備考欄: 1C2D
工程: フォトリソ | インチ: 8
工程: フォトリソ | インチ: 6
工程: フォトリソ | インチ: 6 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ | インチ: 5、6
工程: フォトリソ | インチ: 4
工程: 成膜
工程: 組立
工程: 組立 | インチ: 8
工程: ATE
工程: ATE | インチ: 8 | 備考欄: マニュアル、シールドボックス低高温