中古 【中古品】ブルカー 3次元白色光干渉型顕微鏡 Contour GT-X 場所 福岡市, 福岡県, 日本
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仕様
- 状態
- 中古
- 在庫番号
- 12438
- 年 式
- 2012年
- 測定原理
- VSI方式 白色垂直走査干渉方式
- 垂直方向分解能
- (PSI)0.1nmRa、(VXI)0.5nm、(VSI)1nm Ra
- 最大垂直段差
- (PSI)100nm、(VXI)150um、 (VSI)10ｍｍ
- 段差測定正確性
- 0.5％以下（8um基準段差測定時／VSI）
- 光量調整
- 自動調整機能あり
- ステージ
- XYZ自動ステージ、12インチ（300×300ｍｍ）アルマイト製ステージ
- 対物レンズ
- 10倍（視野探し用）、50倍（測定）
- 内部レンズ
- 1.0倍、1.5倍、2.0倍
- Ｐ ｃ
- Win7、SP1
- 電 源
- AC100～120V、3ピンコネクタ、600W
- エアー源
- 5kgf／cm2 接続はワンタッチコネクタ６ｍｍ
- 寸 法
- 約W900×D850×H1620ｍｍ
- 重 量
- 約400㎏
- カテゴリー
- 顕微鏡
- サブカテゴリ―
- 関連機器
- サブカテゴリ― 2
- 膜厚を測る
- サブカテゴリ― 3
- レーザー顕微鏡
- サブカテゴリ― 4
- 半導体製造装置
- サブカテゴリ― 5
- 寸法・形状を測る
- サブカテゴリ― 6
- 品管 品証 関連
- サブカテゴリ― 7
- 電子部品製造装置
- サブカテゴリ― 8
- 工業検査機器（電子・金属）
- リスティングID
- 102947761
説明
【機器ステータス】・取扱説明書あり。・制御ソフトは英語表示となっております。・ステージ吸着用小型真空ポンプが付属しております。・エアー（圧空）源はお客様にてご準備下さい。
PSI方式 位相シフト干渉方式
VXI方式 位相シフト＋垂直走査干渉方式